等离子体还会发出真空紫外光(VUV)，uv打印机亚克力附着力对这些高能光子的低k吸收会导致化学键的断裂，这可能会在表面形成低能的导电通道。这些由等离子体引起的缺陷在TDDB测试中会成为电荷阱，在应力作用下阱住电荷，使介质表面势垒降低，从而加速介质击穿。尼科尔S等的研究表明，在各种电场增强剂的作用下，
