等离子体发生器等离子体处理是1种简单方便的下降元器件阙值工作电压、提高元器件导通电流的栅表面处理方法。通过氧等离子体对HEMT元器件AIGaN表面进行氧化处理，HEMA为什么亲水性好提高了元器件肖特基势垒，下降了元器件阅值工作电压。另外氧等离子体处理的表面不会引入新的绝缘膜而影响元器件特性。在经典理
