在一定的温度和等离子体活化条件下，pce-6等离子体蚀刻机获得所需的产品并沉积在工件或基材表面上。因此，PCVD工艺包括等离子体物理和等离子体化学反应工艺。谈等离子体不稳定性 等离子体不稳定性一般分为两类：宏观不稳定性和微观不稳定性。发生在远大于粒子回转半径和德拜长度的区域的微观不稳定性统称为宏观不
