这两种功能为提高涂层的附着力、降低沉积温度和提高反应速率创造了有利条件。等离子体化学气相沉积技术可分为直流辉光放电、高频放电、微波等离子体放电等等离子体能源。频率越高，pce-6等离子体清洁等离子化学气相沉积的效果越明显，形成化合物的温度越低。 PCVD工艺设备由沉积室、反应物供应系统、放电电源、真
