另一种中频等离子体清洗机是清洗表面反应机理的物理和化学反应的变化，kh550表面改性方法这反映了正离子蚀刻和反射电子束蚀刻，两种清除相互促进，离子轰击被清除表面损伤，化学键减弱，形成原子态，易反射吸收剂，正离子碰撞加热清除，易反射。。等离子体常用的激励频率有三种:激励频率为40kHz的超声波等离子体
