目前，软板等离子蚀刻大多数等离子清洗系统通过将反应室内的压力降低到100 PA以下来获得等离子，这在常压下是不需要的，以恒定的速率引入适当的气体并打开它。二、影响清洗效果的主要因素 1、电极对等离子清洗效果的影响：电极的设计对等离子清洗效果的影响很大，主要是电极的材料、布局和尺寸。在内部电极等离子清
