总之，软板等离子刻蚀这两个部件之间的耦合必须非常紧密，而等离子表面处理设备的应用对实现这一技术要求起着重要和决定性的作用。在插入组件之前，金属衬套在完全受控的等离子体下进行预处理。这种预处理工艺成功地克服了压缩、孔隙小等诸多装配工艺问题，达到了理想的防漏效果。尤其是当清洗液的粘度较低时，即使毛细孔很
