等离子体表面处理设备去除钻孔污染的研究较多。研究了等离子体腔的刻蚀速率分布研究了聚酰亚胺、丙烯酸胶粘剂和环氧树脂在刚柔结合板中的腐蚀速率与等离子体参数的关系。当柔性板为单板或双板时，fpc软板盲孔清洁采用直接超声清洗和黑洞孔金属化的预处理工艺可以满足要求。当FPCB有8层以上或刚性柔性粘接板时，常采
