(1)物理反应 以物理反应为中心的等离子清洗也称为溅射蚀刻(SPE)或离子铣削(IM)，PET附着力问题由于本身没有化学反应，清洗表面也没有残留金属氧化物，所以被清洗物的化学纯度和蚀刻的各向异性的不足之处在于对表层造成很大的破坏，形成很大的热效应。（2）化学反应化学等离子清洗法清洗速度快，效果好。优
