等离子清洗机有效应用于IC封装工艺中,LCDplasma去胶设备能有效去除材料表面残留的有机物、污染源微颗粒、薄氧化层,提高工件表面活性,避免粘接层或虚拟焊接等情况。Plasma还将继续开发和扩大其应用范围目前,将其技术推广到LED封装和LCD行业势在必行。等离子体表面清洗技术在IC封装领域的应用将