未能有效去除这些有机物会导致异物压合和IC压缩偏移等不良现象,IC等离子体表面改性从而导致线路缺陷和图像模糊等问题。 1、等离子清洗原理等离子,也称等离子,是紫外荧光的产物。继固体、液体和气体之后,等离子体是物质的第四种状态。等离子体是由带正电和带负电的粒子形成的气体,其中还含有中性气体原子、分子和