CFC清洗技术在过去占据着最重要的地位，FCB等离子刻蚀机但由于其对大气臭氧层的损耗而限制了使用。对于替代工艺，在清洗过程中，不可避免地需要后续工艺的烘干（ODS清洗不需要烘干，但污染大气臭氧层，目前限制使用），以及废水处理和人员劳动保护的高投入，特别是电子组装技术和精密机械制造的进一步发展，对清洗
