此外，CCP等离子体刻蚀机器它还会在材料表面引起交联反应。所谓交联，主要是指表面经过自由基复合后形成网状交联层。接下来，在等离子体表面修饰过程中引入极性基因序列。放电控制对材料表面的活性粒子和自由基的结合产生反应，并引入高活性的极性基因。经过上述处理后，对材料表面进行改性，提高材料分子的附着力，提高
