主要的新功能工艺主要为3D结构准备，3d打印增加pei板附着力包括（1）阶梯刻蚀，（2）通道通孔刻蚀，（3）缺口刻蚀，以及（4）接触孔刻蚀。 1. 等离子表面处理机 Plasma Cleaner Step Etching 步骤蚀刻的目的是为了后续工艺单独连接每个控制栅层。由于控制栅层处于叠层状态，因
