由于电晕产生的辉光放电是真空紫外光，电晕机功率要调多少对刻蚀速率有十（分钟）正影响，气体中含有中性粒子、离子和电子。中性粒子和离子的温度为102K~103K，对应电子能量的温度高达105K，称为&ldquo；非平衡电晕；或者&ldquo；冷电晕；，表现为电中性（准中性）；气体产生的自由基和离子是高度
