由于中性粒子和离子的温度在102-103K之间，金属附着力促进剂lth与电子能量对应的温度高达105K，所以它们被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”。3.气体产生的自由基和离子具有很高的活性，其能量足以打破几乎所有的化学键，在任何暴露的表面上引起化学反应。等离子体中粒子的能量一般在几到几十电子伏
