针对不同的污染物采用不同的清洗工艺，高亲水性树脂的用途根据产生的等离子体种类不同，可分为化学清洗、物理化学清洗和化学清洗。等离子刻蚀机是一种高精度的干洗方法，其主要目的是利用高频源产生的高压交流电场。将氧气、氩气、氢气等工艺气体激发成高活性或高能离子，根据化学变化或物理化学作用熔化产品表层，达到分子
