(1)原子团等氧自由基与物体表面的反应：氧自由基是电中性的，驱动力反力对附着力的影响主要出现在化学反应过程中能量转移的活化中。与物体表面的分子发生化学反应，不断产生新的氧自由基，释放出大量的键能，驱动新的表面反应，引起化学反应和去除。等离子蚀刻机又称等离子蚀刻机、等离子平面蚀刻机、等离子表面处理仪、
