当有一定能量的气体离子在固体内一定深度植入，面附着力是什么意思并逐渐积累，若其剂量达到一定程度，就在表面附近形成气泡，并逐渐增大，最后破裂。在有些情况下,表现为起片,形成洞或海绵状表面结构。由于氦气在固体内的扩散率很低,所以这些现象主要是氦离子（α粒子）造成的。7) 等离子体鞘和单极弧。等离子体清洗
