物质和挥发性物质被真空泵吸走。在事情基于物理反应的等离子清洗，集成电路蚀刻是什么意思也称为溅射蚀刻（SPE）或离子铣削（IM），不会引起化学反应，清洗表面不会留下氧化物，因此可以保持物体的清洁度。 .化学纯度、腐蚀各向异性。缺点是对表面损伤大，热效应大，对被洗表面的各种物质选择性差，腐蚀速度慢。基于
