等离子体发生器冷等离子体：电子温度高（103-104K），降附着力气体温度低（薄低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体、DBD介质阻挡放电等离子体、电缆阶梯放电等离子体等）。 2、等离子体发生器按等离子体的状态： （1）等离子体发生器 平衡等离子体：气体压力高，电子温度和气体温度几乎相等的等离子体。
