在等离子发生器生产过程中所使用的气体的典型颜色有：CF4：蓝色SF6：浅蓝色SIF4：浅蓝色SICL4：浅绿色H2：浅绿色H2：粉色O2：浅黄色N2：红He：红紫色Ne：砖红色Ar：深红色等离子体清洗机所产生的亮色不仅可用于识别过程气体，附着力特征值评价也可用于定性评价过程气体中是否有污染物。。即常
