不同类型气体在清洗过程中的反应机理不同，什么上色工具附着力比较强而生动气体的等离子体具有较强的化学反应活性。除了气体分子、离子和电子之外，还有被能量激发的电中性原子或自由基，以及等离子体发出的光。由于两者之间的波长较短，紫外线在等离子体与材料表面的相互作用中起着重要作用。分别介绍了其下门的作用。这些
