铝合金互连结构中铝导线由沉积加蚀刻来成形，铝合金附着力检测视频教学是二维结构，晶粒较大，当导线的线宽小于其晶粒的平均尺寸时，导线呈竹节状结构；铜互连结构中的铜导线和通孔是由双大马革(Dual Damascene，DD)工艺加CMP来成形，是三维结构，晶粒较小，而且由于铜扩散阳挡层的引入，在通孔底部和
