零件表面的污染物，附着力检测画叉法如油脂、助焊剂、感光膜、脱模剂、冲床油等，会很快被氧化为CO2和水，通过真空泵排出以达到清洁表面的目的。低温只触及到数据的表面，不会对数据主体的性质产生影响。等离子体的净化都是在高真空条件下进行的，因此等离子体中的各种活性离子具有很强的自由度，它们具有很强的渗透能力
