在真空室内产生的等离子完全覆盖清洗后的工件后，附着力是表面张力吗开始清洗操作，清洗过程持续几十秒到几分钟。整个过程是利用等离子体在电磁场中穿过空间，撞击待处理表面，达到表面处理、清洗、蚀刻的效果（清洗过程是轻微的蚀刻）。在一定程度上）；污垢和清洁气体，同时将空气送入真空室以恢复正常大气压。在低压等离
