解吸是等离子体清洗机中等离子体与固体材料表面的界面，附着力好的热固性树脂电子、离子、光子和中性粒子将能量传递给吸附在固体材料表面的原子或分子，使这些原子或分子克服吸附力离开固体表面，通常包括离子解吸、电子解吸、中性粒子解吸和光解吸。（1）化学反应化学反应中常用的气体有氢气(H2)、氧气(02)、甲烷
