表面特性不改变体积特性，附着力增强剂成分可替代对环境有害的化学物质、颗粒污染、臭氧和氮氧化物的形成、废物产生和废物处理成本，需要单独的排气系统 1. 等离子体“活性”成分包括离子、电子、活性基团、激发核（准稳定）、光子等。等离子表面处理设备利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，达到清洗、改性、光
