氩是一种常见的有效的物理等离子体清洁气体，隧道内附着力减小是啥情况因为它的原子大小。能对试样表面施加很大的力。正氩离子吸引负极板。震动足以清除表面的污垢。然后用真空泵抽走气体污物。2)O2:在化学过程中，等离子体与样品表面的化合物发生反应。例如，有机污垢可以通过氧等离子体处理器去除，在那里氧等离子体
