不同能量的光子代表不同的波长。通过对光谱的分析，附着力促进剂adp可以有效地分析等离子体的刻蚀过程。这种解剖诊断过程常用于半导体制造中的EDP监测。图2等离子体中的激发碰撞和光谱辐射电容耦合等离子体源的典型腔室结构如下图所示。上下电极加电，一般频率为13.56MHz。所有墙壁的外表面都会形成所谓的暗
