当确认等离子体刻蚀机放电的空间均匀性时，附着力促进剂的特征可以在放电电流峰值附近拍摄10ns的放电图像，发现放电没有明暗相间的放电细丝，说明该放电在空间上是均匀的，所以这种在大气压氦气中比较容易得到的放电就是均匀放电；同时还可以看到在瞬时阴极附近有一个亮度较高的发光层，这是辉光放电的典型特征，因此可
