第二阶段以O2和CF4为原始气体，附着力促进剂的添加量混合后产生O、F等离子，丙烯酸、PI、FR4、玻璃等使高分子材料处于特定的活化状态发生反应。纤维达到去污的目的。第三阶段以O2作为原始气体，产生的等离子体和反应残渣对孔壁进行清洁。在等离子清洗过程中，除等离子化学反应外，等离子还与材料表面发生物理
