5、设备可连续高效运行，附着力促进剂为硅烷偶联剂加工速度也有所提高。可达到400m/min。根据放电形式的不同，附着力促进剂为硅烷偶联剂低温等离子体可分为以下几种：辉光放电（发光放电）辉光放电属于低压放电，其工作压力一般低于10mbar。其结构是在密闭容器中放置两个平行的电极板，利用电子激发中性原子
