低温宽幅等离子体清洗机激励频率分类等离子体密度与激励频率的关系为:Nc = 1.2425 & times;108v2其中Nc为等离子体密度(CM-3)，附着力与表面粗糙度的关系 V为激励频率(Hz)。常用的等。激励频率有三种:激励频率为40kHz的超声波等离子体，激励频率为13.56MHz的射频等离
