当电子、离子和中性粒子（中性气体）的温度分别为 Te、Ti 和 Tn 时，阳极氧化与喷漆表面附着力称为热平衡等离子体，其中这三种粒子的温度几乎相同（Te ≈ Ti ≈ Tn ）。热等离子体（热等离子体）在实用的热等离子体发生器中，流入的工作气体通过阴极和阳极之间的电弧放电效应电离，输出等离子体以射流
