在等离子体清洗机半导体集成电路的制造过程中，镀层附着力百格法要求所有气体具有极高的纯度：一般气体一般控制在9以上的7纯度(&Ge；99.99999%)，特殊气体的个别成分纯度至少要控制在4 9(>99.99%)以上。气体中杂质颗粒的粒径应控制在0.1μm；在m内，其他需要控制的是氧气。水分和其他微量
