2、清洗反应腔室首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），锌层附着力要求多少用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。3、检查输气管道的完整性及真空密封性.定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的
