在集成电路的生产中,属于亲水性材料的是每一个电路可能有1000多处连接点,金属镀层的连接处经常出现连接不紧密的问题,此外,加工的过程中会产生有机污染物,对加工效果产生影响。等离子体清洗可以有效的去除有机污染物,同时对材料表面活化作用增强了连接线与基体的有效粘结。常压等离子体清洗常压等离子体属于低温等