等离子清洗机的真空度系数与真空度有关，对铜附着力好的助剂是什么包括真空室的泄漏率、背景真空度、真空泵和进气的流量。真空泵速度越快，背景真空越低，残留空气越少，铜载体与氧等离子体反应的机会就越小。它是在工艺气体进入时形成的。等离子体可以与铜载体完全反应。未经激发的工艺气体可轻松去除反应物，铜支架清洁效
