其中包含了等离子发生系统、排气系统、温控系统等八个主要控制系统。1、真空腔体真空等离子清洗设备的真空腔体，铅笔测漆膜附着力准吗吗即像进行整个反应过程的“容器”，可放置不同电极结构的放电电极，产生不同状态、特性和密度的等离子体。2、等离子发生器等离子发生器主要由电源和匹配器组成
