如磨削、磁流变抛光等工 艺会在单晶硅表面残留磨料或者铁粉，铁粉腻子附着力怎么样这些残留在表面的杂质污染在高能激光辐 照下易于大量吸热而形成损失。同时，空气环境也会对单晶硅表面造成污染，如 氧化层和有机污染。有研究表明，接触式抛光工艺会造成元件表面的局部应力， 使元件表面材料硬度、弹性模量等发生改变。
