即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀，金属附着力处理剂什么意思两种清洗可以相互促进。离子轰击对清洗后的表面造成损伤，使其化学键减弱或形成原子状态，容易吸收反应物。离子碰撞加热了清洗后的物质，使其更容易反应；选用40kHz超声等离子体，加入适当的反应气体，可有效去除胶体残留物、金属毛刺等，科研和实验室常采用
