等离子蚀刻系统是先进的，补漆的附着力例如用于封装的介电材料、氧化物、氮化物、聚酰亚胺、硅、金属、ILED 或 IC 器件去除、环氧树脂去除中间层、光刻胶去除去除剂等。专为蚀刻应用而设计。此外，真空等离子清洗系统机箱还可用作等离子室、控制电子设备、13.56MHz 射频发生器和自动匹配网络（仅限系统外
