所以待洁净物体和电极的相对运动越慢，材料表面改性的发展加工作用就越好，但是过慢一方面会影响工作效率，另一方面会导致材料表层损伤，从而导致加工时间延长。(6)其它：等离子洁净工序中的汽体分布、气体流量、电极的设置等主要参数也会影响洁净作用。所以要根据实际情况和洁净要求，设定具体、合适的工序主要参数。
