超研磨改性金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等不同几何形状、不同表面粗糙度的物体表面，金属材料亲水性判断将样品表面的所有有机污染物全部去除。真空等离子清洗机可以清洗半导体元件（光学元件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基板、终端器件等）。同时可以清洗光学镜片。光学镜片、电子显微镜载玻片等各种镜片、载玻
