但它远低于仅包含材料表面的高能放射线，表面改性变正电荷不影响基体的性能。在非热力学平衡的冷等离子体中，电子具有很高的能量，可以破坏材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应性（比热等离子体大）。中性粒子的温度接近室温，这些优点为热敏聚合物的表面改性提供了合适的条件。真空等离子清洗机的功能主要是物理的、
