在等离子清洗机的半导体集成电路制造过程中，附着力好木器漆对所有气体的纯度要求极高。典型气体的纯度一般控制在至少 79 秒（99.99999% 或更高），特殊气体的个别成分应控制在至少 49 秒（> 99.99%）的纯度。气体中杂质颗粒的大小需要控制在直径0.1μm以内，另外需要控制的是氧气。水分和其
