对于实际的原子层蚀刻过程中每一个循环的反应A和B而言，重庆等离子清洗机结构理想的单层自限制蚀刻过程很难被实现。反应A包括4种不同的表面改性机理，分别为化学吸附、沉积、转换和剥离。反应B大多需要等离子体辅助，运用离子进行各向异性蚀刻，得到高深宽比的蚀刻结构。等离子表面处理机从原子层蚀刻开发到目前为止，
