更强的等离子体蚀刻将引人更宽的沟壑和更深的孔。 当氢的等离子体功率过大或是时间过长,重庆等离子涂层加工就会使石墨烯表面本已断裂的键受到进一步攻击,使宽度不断加大,形成深的沟壑,同时又会攻击其他部分的石墨烯形成六角形的深孔。对于这两种情况,都是具体加工过程中应避免的情况。除了精准控制射频功率和蚀刻时间