虽然清洗效率不如自动清洗装置，重庆等离子体清洗机原理图但处理环境控制能力极高，可以去除颗粒。容量。自动清洗台又称罐式自动清洗装置，是一种一次清洗多片晶圆的装置。其优点是清洗能力强，适合大批量生产，但无法达到单片机清洗设备的清洗精度。 ，这很难满足。所有当前技术先进的工艺参数要求。此外，由于同时清洗多
